真空微电子技术的新进展  

Recent Development of Vacuum Microelectronics

作　　者：张盛东[1] 戴丽英[1] 

机构地区：[1]南京电子器件研究所

出　　处：《光电子技术》1992年第1期30-36,共7页Optoelectronic Technology

摘　　要：本文详实介绍了真空微电子技术最近几年的发展动向并对其在若干领域的应用前景作了分析与讨论.In this paper, the recent development trend of vacuum microelectronics techniques is introduced in detail. The application prospect in some fields is analyzed and discussed.

关 键 词：真空微电子 冷阴极 微型器件 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]