基于MEMS的微型泵技术研究  

The Research on MEMS-Based Micro Pump Technology

作　　者：崔建国[1] 郑小林[1] 侯文生[1] 彭承琳[1] 

机构地区：[1]重庆大学,重庆400044

出　　处：《中国医疗器械杂志》2004年第3期190-193,共4页Chinese Journal of Medical Instrumentation

基　　金："863"项目--基于MEMS的人体消化道诊疗系统(2002AA404190)资助

摘　　要：基于硅微结构的微流体控制系统——微型泵,是微机电系统(MEMS)中的一个重要分支,可广泛用于生物,医学、化工、电子、航空等领域。综述了国内外微流体控制系统中微泵技术的研究现状,介绍了几种常用微型泵的工作结构原理,并讨论现有技术中存在的一些问题,以及提出了尝试解决的办法。The micro fluidic controlling system based on silicon micro structure is an important branch of Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). It can be used in many fields, such as biology, medicine, chemistry, electronics and navigation.The current status of its research, its structural designs and working principle are presented in this paper. Some problems existed are discussed and their solutions are put forward too.

关 键 词：微机电系统 微流体控制系统 微型泵 驱动原理 形状记忆合金 

分 类 号：TH772.2[机械工程—仪器科学与技术]