SI—GaAs中E12浓度微区分布的自动测量  

作　　者：李光平 汝琼娜 

出　　处：《半导体杂志》1993年第4期12-16,共5页

关 键 词：EL2浓度 微区分布 测量 SI-GAAS 

分 类 号：TN304.07[电子电信—物理电子学]