国家自然科学基金(11074247)

作品数：7被引量：18H指数：3
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RAS在线监测AlGaAs的MOCVD生长(英文)被引量：1
《发光学报》2011年第12期1297-1302,共6页徐华伟 张金龙 宁永强 曾玉刚 张星 
supported by the National Natural Science Foundation of China(11074247,60876036,61106047,61176045,61106068,51172225,61006054);Major program of National Natural Science Foundation of China(90923037)~~
通过瞬态反射各向异性谱和瞬态反射谱在线监测和研究了AlxGa1-xAs的生长过程,利用金属有机化合物汽相淀积技术在GaAs(001)衬底上生长了多层AlxGa1-xAs结构。选择最适合在线监测生长过程的探测光能量,在此探测光能量处所得到的反射各向...
关键词：外延生长 金属有机化合物汽相淀积 反射各向异性谱 
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