国家高技术研究发展计划(2007AA04Z337)

作品数:8被引量:36H指数:4
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相关机构:清华大学岛津分析技术研发(上海)有限公司中北大学西南科技大学更多>>
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方波射频电压幅值对微型高场非对称波形离子迁移谱传感器芯片性能的影响被引量:9
《分析化学》2010年第11期1678-1682,共5页李华 唐飞 王晓浩 张亮 杨吉 王帆 徐初隆 吝涛 丁力 
国家自然科学基金(No.60706030);国家自然科学基金仪器专项(No.20827007);国家"863"计划(No.2007AA04Z337)资助
基于微机电系统技术(Micro electro mechanical system,MEMS),研制了微型高场非对称波形离子迁移谱(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)传感器芯片。芯片采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀和两次硅-玻璃键...
关键词:微机电系统 高场非对称波形离子迁移谱 方波射频电压 
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