国家高技术研究发展计划(2007AA04Z337)

作品数：8被引量：36H指数：4
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相关作者：唐飞王晓浩张亮林镇翔李华更多>>
相关机构：清华大学岛津分析技术研发(上海)有限公司中北大学西南科技大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《仪器仪表学报》《高电压技术》《自动化与仪表》更多>>
相关主题：FAIMS微机电系统法拉第筒微弱电流FAI更多>>
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微型FAIMS生化传感器的设计与制作被引量：3
《纳米技术与精密工程》2010年第6期516-520,共5页李华 唐飞 王晓浩 林镇翔 张亮 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z337);国家自然科学基金仪器专项资助项目(20827007);国家自然科学基金资助项目(60706030)
根据高场非对称波形离子迁移谱(high-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)原理,设计了一种微型生化传感器.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行电离,紫外灯发射的光子能量为10.6 eV,波长116.5 nm.迁...
关键词：FAIMS 生化传感器 高场非对称方波 SIMION 微机电系统(MEMS) 
用于高场非对称波形离子迁移谱系统的阵列式微法拉第筒离子检测器被引量：6
《光学精密工程》2010年第12期2597-2602,共6页唐飞 王晓浩 张亮 
国家自然科学基金资助项目(No.60706030);国家自然科学基金仪器专项资助项目(No.20827007);国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA04Z337)
提出了一种可减小高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)系统体积的阵列式微法拉第筒离子检测器,该检测器具有结构简单、稳定性好、噪声小、量程大、可在大气压条件下工作等优点。阵列式微法拉第筒包括栅电极、敏感电极、屏蔽电极3部分,其中...
关键词：高场非对称波形离子迁移谱 微机电系统 法拉第筒 离子检测器 微弱电流 
方波射频电压幅值对微型高场非对称波形离子迁移谱传感器芯片性能的影响被引量：9
《分析化学》2010年第11期1678-1682,共5页李华 唐飞 王晓浩 张亮 杨吉 王帆 徐初隆 吝涛 丁力 
国家自然科学基金(No.60706030);国家自然科学基金仪器专项(No.20827007);国家"863"计划(No.2007AA04Z337)资助
基于微机电系统技术(Micro electro mechanical system,MEMS),研制了微型高场非对称波形离子迁移谱(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)传感器芯片。芯片采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀和两次硅-玻璃键...
关键词：微机电系统 高场非对称波形离子迁移谱 方波射频电压 
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