国家自然科学基金(60876036)

作品数：9被引量：21H指数：2
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相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院更多>>
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RAS在线监测AlGaAs的MOCVD生长(英文)被引量：1
《发光学报》2011年第12期1297-1302,共6页徐华伟 张金龙 宁永强 曾玉刚 张星 
supported by the National Natural Science Foundation of China(11074247,60876036,61106047,61176045,61106068,51172225,61006054);Major program of National Natural Science Foundation of China(90923037)~~
通过瞬态反射各向异性谱和瞬态反射谱在线监测和研究了AlxGa1-xAs的生长过程,利用金属有机化合物汽相淀积技术在GaAs(001)衬底上生长了多层AlxGa1-xAs结构。选择最适合在线监测生长过程的探测光能量,在此探测光能量处所得到的反射各向...
关键词：外延生长 金属有机化合物汽相淀积 反射各向异性谱 
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