浙江省教育厅科研计划(20060864)

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MEMS构件三维视觉测量中弱透视视觉空间畸变研究
《浙江工业大学学报》2007年第5期525-529,共5页虞妍 刘盛 
国家科学基金(60605013);浙江省教育厅科研项目(20060864)
微分析系统的核心元件——微流控芯片的制造常采用热压法或模塑法,所需的单晶硅阳模则常用湿法刻蚀加工.为了测量硅阳模的三维外型,结合微测量的特点并基于旋转体视测量原理提出一种新的显微测量方法,开发出一种新的旋转体视显微检测系...
关键词:旋转体视 微流控芯片硅阳模 弱透视视觉空间畸变 等畸变面 
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