深圳市科技计划项目(200449)

作品数：2被引量：8H指数：2
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硅微通道板电子倍增器的研制被引量：6
《光学技术》2007年第3期354-356,共3页牛丽红 冯玉春 阔晓梅 王云程 
深圳市科技计划资助项目(200449)
阐述了新一代硅微通道板的主要性能。采用定向离子深度刻蚀技术在2和4硅片上刻蚀了四组不同直径的硅微通道板微孔阵列,分别采用PECVD技术和液体化学沉积两种方法制作了硅微通道板的连续打拿极,从而探索了研制新一代硅微通道板的途径。...
关键词：硅 微通道板 定向离子刻蚀 电子倍增 
半导体玻璃微通道板的研制被引量：2
《应用光学》2007年第2期121-124,共4页易家良 牛丽红 阔晓梅 周军兰 
深圳市科技计划资助项目(项目号:200449)
介绍了半导体玻璃微通道板的主要性能,并与传统铅硅酸盐玻璃的相关性能进行了比较。阐述了半导体玻璃的研制工艺,研究了利用半导体玻璃材料制备微通道板的工艺途径,开发了靠玻璃本身体电导性质而无需氢还原工艺的微通道板,即半导体玻璃...
关键词：微通道板 半导体玻璃 电子倍增管 
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