云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家重点基础研究发展计划(2006CB302703)

国家重点基础研究发展计划(2006CB302703): 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 相关作者：孟庆伟付爽胡龙龙范仲勇丁士进更多>>; 相关机构：复旦大学更多>>; 相关期刊：《功能材料》更多>>; 相关主题：超低介电常数力学性能紫外辐照低介电常数更多>>; 相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

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紫外辐照对超低介电常数SiCOH薄膜组成与机械性能的影响: 《功能材料》2011年第9期1657-1659,1662,共4页付爽胡龙龙孟庆伟丁士进范仲勇; 国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2006CB302703);国家科技重大专项资助项目(2011ZX02703-04); 采用紫外光辐照超低介电常数多孔SiCOH薄膜,研究不同照射时间对薄膜结构和性能的影响。采用动态纳米压入技术测量薄膜的力学性能,发现随照射时间增加,薄膜的模量(Er)和硬度(H)不断提高。当辐照时间增至6h时,薄膜力学强度分别达到Er约7.4...; 关键词：紫外辐照多孔SiCOH薄膜力学性能低介电常数