国家自然科学基金(ZR2009BM011)

作品数：2被引量：17H指数：2
导出分析报告
相关期刊：《Chinese Journal of Chemical Engineering》更多>>
相关主题：CHEMICAL_VAPOR_DEPOSITIONFLUIDIZED_BEDCHALLENGESTECHNICALPROGRESS更多>>
相关领域：理学化学工程更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
Technical Challenges and Progress in Fluidized Bed Chemical Vapor Deposition of Polysilicon被引量：12
《Chinese Journal of Chemical Engineering》2011年第5期747-753,共7页李建隆 陈光辉 张攀 王伟文 段继海 
Supported by the Natural Science Foundation of Shandong Province of China （ZR2009BM011） and the Doctor Foundation of Shandong Province of China （BS2010NJ005）.
Various methods for production of polysilicon have been proposed for lowering the production cost andenergy consumption, and enhancing productivity, which are critical for industrial applications. The fluidized bed ch...
关键词：fluidized bed chemical vapor deposition fine particles homogeneous reaction 
Effect of Boundary Layers on Polycrystalline Silicon Chemical Vapor Deposition in a Trichlorosilane and Hydrogen System被引量：5
《Chinese Journal of Chemical Engineering》2011年第1期1-9,共9页张攀 王伟文 陈光辉 李建隆 
Supported by the Natural Science Foundation of Shandong Province of China （ZR2009BM011）; the Doctor Foundation of Shandong Province of China （BS2010NJ005）
This paper presents the numerical investigation of the effects of momentum, thermal and species boundary layers on the characteristics of polycrystalline silicon deposition by comparing the deposition rates in three c...
关键词：boundary layer polycrystalline silicon numerical simulation mass diffusion 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部