国家自然科学基金(NCET-04-0376)

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High Spectral Resolution Mo/Si Multilayers Working at High Order Reflection被引量：1
《Chinese Physics Letters》2006年第9期2534-2537,共4页吴文娟 朱京涛 王占山 张众 王风丽 王洪昌 张淑敏 徐垚 程鑫彬 王蓓 李存霞 吴永荣 秦树基 陈玲燕 周洪军 霍同林 
Supported by the National Natural Science Foundation of China under Grant Nos 60378021 and 10435050, the Hi-Tech Research and Development Programme of China, the Program for New Century Excellent Talents in University （NCET-04-0376）, and the Research Fund of Tongji University.
The high reflectance orders are used to improve the spectral resolution of Mo/Si multilayers. The multilayers for the first-, second- and third-order reflectance are designed and optimized, respectively. These multila...
关键词：DESIGN MONOCHROMATOR FABRICATION FILMS 
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