国家自然科学基金(90207022)

作品数：19被引量：80H指数：5
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用于微传感器中PZT压电薄膜的制备和图形化被引量：3
《压电与声光》2008年第4期453-455,共3页娄利飞 杨银堂 李跃进 
国家自然科学基金资助项目(90207022);武器装备预研基金资助项目(51411040105DZ0141)
采用溶胶-凝胶法在Si/Si3N4/Poly-Si/Ti/Pt基片上制备PZT压电薄膜,为了选择更适合微电子机械系统(MEMS)器件的压电薄膜,采用一般热处理和快速热处理对锆钛酸铅(PZT)压电薄膜进行干燥和结晶。首先,采用V(H2O):V(HCL):V(HF)=280 mL:120 mL...
关键词：锆钛酸铅(PZT) 压电薄膜 微传感器 湿法化学刻蚀 
微传感器制备中多孔硅牺牲层技术的研究
《压电与声光》2008年第2期187-189,共3页娄利飞 李跃进 杨银堂 汪家友 
国家自然科学基金资助项目(90207022);武器装备预研基金资助项目(51411040105DZ0141)
采用双槽电化学腐蚀法成功的制备了多孔硅,从多孔硅的SEM照片中发现,孔径尺寸小,均匀性好,腐蚀深度大(超过100μm),在极稀的弱碱溶液中就可以得到去除,然后对双槽化学腐蚀法中腐蚀时间及电流对腐蚀速率的影响进行了研究,最后进一步探讨...
关键词：多孔硅 牺牲层 MEMS 双槽电化学腐蚀法 
双槽电化学腐蚀法制备多孔硅的研究
《压电与声光》2007年第6期740-742,共3页张萍 娄利飞 柴常春 杨银堂 
国家自然科学基金资助项目(90207022)
论述了多孔硅的特点和制备方法,简单介绍双槽电化学腐蚀法的特点,并采用双槽电化学腐蚀法成功制备了多孔硅。多孔硅的扫描电镜(SEM)照片表明,孔径尺寸小,均匀性好,腐蚀结构规则。实验结果表明,衬底导电类型影响着多孔硅的制备条件。
关键词：牺牲层 多孔硅 双槽电化学腐蚀法 
硅基PZT压电薄膜微开关的设计和制作被引量：1
《功能材料与器件学报》2007年第6期609-614,共6页娄利飞 杨银堂 李跃进 
国家自然科学基金(No.90207022);武器装备预研基金(No.51411040105DZ0141)
对硅基锆钛酸铅(PZT)压电薄膜微开关进行了结构和版图设计,根据MEMS加工工艺和标准硅基IC工艺的特点,获得了硅基PZT压电薄膜微悬臂梁结构系统工艺流程中的关键工艺技术和典型工艺条件,对多孔硅的选择性生长进行了较为详细的实验研究,最...
关键词：锆钛酸铅(PZT) 压电薄膜 微开关 多孔硅 
一种基于压电薄膜逆压电效应的新型集成微镜被引量：1
《压电与声光》2007年第1期29-32,共4页娄利飞 杨银堂 汪家友 毕发社 
国家自然科学基金资助项目(90207022);武器装备预研基金资助项目(51411040105DZ0141)
设计了一种采用锆钛酸铅(PZT)压电薄膜悬臂梁作为驱动机理的500μm×500μm微镜结构。该微镜主要由4个悬臂梁与1个反射镜组成,4个悬臂梁起支撑微镜的作用,即微镜主要利用微悬臂梁自由端头的小挠度来实现垂直方向的位移。提出了与互补金...
关键词：微镜 有限元模拟 压电薄膜 
超导Josephson结直流I-V特性的数值计算被引量：4
《计算物理》2006年第1期98-102,共5页张军琴 杨银堂 贺庆丽 娄利飞 桂智彬 
国家自然科学基金(90207022)资助项目
为了研究超导Josephson结的性质,选用四阶龙格-库塔法对RSJ模型下单个Josephson结及其阵列以及微波辐照下Josephson结的直流I-V特性进行了数值计算,并将模拟结果与实验结果进行了比较.
关键词：JOSEPHSON结 RSJ模型 微波辐照 阵列 
压电薄膜微传感器振动模态的仿真分析被引量：16
《振动与冲击》2006年第4期165-169,共5页娄利飞 杨银堂 樊永祥 李跃进 
国家自然科学基金资助项目(90207022);武器装备预研基金项目(51411040105DZ0141)
以压电本构方程为基础,建立了压电薄膜微传感器机电耦合的有限元模型,采用有限元分析软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器进行了模态分析,同时分析了压电薄膜微传感器的结构尺寸对振动模态的影响,探讨了影响压电薄膜微传感器工作稳定性和响...
关键词：压电薄膜 有限元分析 耦合场 微传感器 模态分析 
硅基PZT压电驱动微开关的设计和优化被引量：2
《压电与声光》2005年第4期445-448,共4页娄利飞 杨银堂 李跃进 张军琴 
国家自然科学基金资助项目(90207022)
采用压电多层微悬臂梁理论分析模型,研究了一种新型PZT压电复合多层膜微悬臂梁驱动微开关的机械性能,提出了一种新的硅基PZT压电复合多层薄膜微悬臂梁驱动微开关的制作方法。利用有限元分析软件AN SY S7.0对微悬臂梁结构进行了模态分析...
关键词：压电薄膜 有限元分析 微开关 
PZT铁电薄膜材料的ECR等离子体刻蚀研究被引量：3
《西安电子科技大学学报》2005年第4期555-558,598,共5页娄利飞 肖斌 汪家友 杨银堂 李跃进 
国家自然科学基金资助项目(90207022);国家部委预研基金资助项目(51411040105DZ0141)
以SF6和SF6+Ar为刻蚀气体,采用电子回旋共振等离子体刻蚀工艺成功地对溶胶-凝胶工艺制备的锆钛酸铅铁电薄膜进行了有效的刻蚀去除.研究了不同气体总流量、混合比、微波功率等因素对刻蚀速率的影响,指出当气体混合比约为20%时,刻蚀速率...
关键词：电子回旋共振 等离子体刻蚀 锆钛酸铅 凝胶-溶胶工艺 
基于准浮栅技术的超低压运算放大器被引量：2
《西安电子科技大学学报》2005年第4期501-503,527,共4页杨银堂 任乐宁 付俊兴 
国家自然科学基金资助项目(90207022)
分析了准浮栅晶体管的工作原理、电气特性及其等效电路,基于准浮栅PMOS晶体管,设计了超低压低功耗运算放大器.基于台积电的0.25μmCMOS工艺,利用Hspice对所设计的运放进行了模拟仿真.仿真结果显示,在0.8V的单源电压下,运算放大器的最大...
关键词：准浮栅 超低压 运算放大器 CMOS 
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