陕西省教育厅科研计划项目(12JK0662)

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基板玻璃翘曲度的精密随动测量技术
《计量学报》2013年第3期221-225,共5页邵伟 郭俊杰 常婷 刘冲 
基金项目：陕西省教育厅科研计划项目（12JK0662）
针对大尺寸基板玻璃翘曲度的精密测量，提出基于实时整定多项式权值的广义最小方差（RAPW_GMV）随动扫描测量方法。主要思想是根据实时估计的被控对象参数及RAPW_GMV输出误差修正多项式的权值，实现测头自动跟踪扫瞄测量。实验证明，该...
关键词：计量学 翘曲度 随动扫描测量 RAPW_GMV控制 实时修正 
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