云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 电子薄膜与集成器件国家重点实验室基础研究开放创新基金(CXJJ200901)

电子薄膜与集成器件国家重点实验室基础研究开放创新基金(CXJJ200901): 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 相关作者：邓宏韦敏陈金菊邓雪然更多>>; 相关机构：电子科技大学更多>>; 相关期刊：《光电子．激光》更多>>; 相关主题：MSM光电探测器MSMAZOXO合金更多>>; 相关领域：电子电信更多>>

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Al_xZn_(1-x)O合金MSM光电探测器的研究被引量：1: 《光电子．激光》2011年第2期228-231,共4页韦敏邓宏邓雪然陈金菊; 国家自然科学基金资助项目(50802012);电子薄膜与集成器件国家重点实验室创新基金资助(CXJJ200901);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目; 在Si衬底上磁控溅射制备AlxZn1-xO（AZO）合金薄膜,在其上真空蒸发Ni/Au叉指电极获得金属-半导体-金属（MSM）结构光电探测器。采用UV-Vis-Nir分光光度计测量AZO系列薄膜的光吸收特性,观察到AZO合金薄膜的光学吸收带边随Al含量增加明显...; 关键词：AlxZn1-xO(AZO) 光电探测器合金金属-半导体-金属(MSM)