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新型驻波模式的声表面波MEMS-IDT陀螺仪
《仪表技术与传感器》2009年第B11期299-301,305,共4页王文 何世堂 
国家自然科学基金项目(10804120)
文中提出了一种新型基于驻波模式的声表面波(SAW)MEMS-IDT陀螺仪,包括一个谐振腔内驻波反节点位置分布金属点阵的两端SAW谐振器和一组平行于谐振器设置的双延迟线型SAW振荡器。SAW谐振器形成稳定的驻波,由于旋转利用分布的金属点阵产生C...
关键词：声表面波陀螺仪 两端谐振器 延迟线型振荡器 CORIOLIS力 COM 
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