西安理工大学自动化与信息工程学院晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文主题：光圈单晶炉晶体生长温度测量技术最小二乘更多>>
发文期刊：《传感技术学报》更多>>
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基于光圈模式识别的直拉晶体生长温度测量技术研究被引量：1
《传感技术学报》2018年第4期573-578,共6页赵跃 王欣 
国家自然科学基金重点项目(61533014)
针对直拉硅晶体生长引晶流程中生长界面温度无法自动测量和校准的问题,本文提出一种基于光圈图像特征与最小二乘支持向量机相结合的温度模式分类检测方法。以数字相机获取的籽晶熔接处的光圈图像作为输入数据,利用图像处理算法提取光圈...
关键词：单晶炉 图像识别 最小二乘支持向量机分类 引晶温度 
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