天津大学精密仪器与光电子工程学院微纳制造实验室

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4H-SiC激光烧蚀的三维分子动力学研究
《中国激光》2024年第20期261-268,共8页安豪杰 王金石 房丰洲 
国家自然科学基金(52105475,52035009)。
飞秒激光直写在原子及近原子尺度制造领域中表现出独特的优势。为了研究飞秒激光与材料在原子及近原子尺度的相互作用过程,给出了一种基于双温方程的三维分子动力学模型,开展了4H-SiC表面飞秒激光烧蚀过程与机制的研究,对不同能量密度...
关键词：激光技术 材料加工 双温模型 分子动力学 原子及近原子尺度制造 
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