NANOPATTERN

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Patterning single-layer materials by electrical breakdown using atomic force microscopy
《Nanotechnology and Precision Engineering》2024年第1期71-77,共7页Yajie Yang Jiajia Lu Yanbo Xie Libing Duan 
supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.12075191,12388101,and 12241201);the Fundamental Research Funds for the Central Universities(Grant No.D5000230120);the Natural Science Basic Research Program of Shaanxi Province(Grant No.2023-JC-YB-541).
The development of nanoelectronics and nanotechnologies has been boosted significantly by the emergence of 2D materials because of their atomic thickness and peculiar properties,and developing a universal,precise patte...
关键词：2D material NANOPATTERN AFM Electrical breakdown LITHOGRAPHY 
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