MICROMIRROR

作品数：19被引量：30H指数：4
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Twisting Sliding Mode Control of an Electrostatic MEMS Micromirror for a Laser Scanning System
《IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica》2019年第4期1060-1067,共8页Hui Chen Zhendong Sun Weijie Sun John Tze Wei Yeow 
supported by the National Natural Science Foundation of China(61374036,61703142,U1504615);the Natural Science and Engineering Research Council of Canada;the Scientific Research Key Foundation of Higher Education Institutions of Henan Province(16A413001)
In this paper,we present a twisting control scheme with proportional-integral-derivative(PID)sliding surface for a two-axis electrostatic torsional micromirror,and the utilization of the proposed scheme in a laser sca...
关键词：Electrostatic micromirror IMAGING microelectromechanical system(MEMS) twisting algorithm 
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