KA-BAND

作品数：36被引量：44H指数：4
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Research on a Ka-Band MEMS Power Sensor Investigated with an MEMS Cantilever Beam被引量：2
《Chinese Journal of Electronics》2020年第2期378-384,共7页WANG Debo GU Xinfeng XIE Jiangcheng ZHANG Dong 
supported by the National Natural Science Foundation of China(No.61704086,No.11674173,No.11874216);the China Postdoctoral Science Foundation(No.2017M621692);Jiangsu Postdoctoral Foundation(No.1701131B);the Postgraduate Research&Practice Innovation Program of Jiangsu Province(No.SJKY19_0816)。
In this work, a novel high overload Ka-band power sensor with a Micro-electro-mechanical system(MEMS) cantilever beam is investigated in order to improve the measurement dynamic range and the bandwidth.The fabrication...
关键词：POWER sensor Sensitivity OVERLOAD POWER Micro-electro-mechanical system(MEMS) CANTILEVER BEAM 
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