BENZOCYCLOBUTENE

作品数：9被引量：3H指数：1
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Heterogeneous integration of GaAs pHEMT and Si CMOS on the same chip被引量：3
《Chinese Physics B》2016年第6期494-499,共6页吴立枢 赵岩 沈宏昌 张有涛 陈堂胜 
In this work,we demonstrate the technology of wafer-scale transistor-level heterogeneous integration of Ga As pseudomorphic high electron mobility transistors（p HEMTs） and Si complementary metal–oxide semiconductor...
关键词：Si CMOS GaAs pHEMT heterogeneous integration BENZOCYCLOBUTENE 
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