PIEZORESISTOR

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相关作者:王家畴荣伟彬李欣昕孙立宁更多>>
相关机构:哈尔滨工业大学中国科学院更多>>
相关期刊:《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》《Nano-Micro Letters》《Microsystems & Nanoengineering》《Journal of Semiconductors》更多>>
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A Review on Surface Stress-Based Miniaturized Piezoresistive SU-8 Polymeric Cantilever Sensors
《Nano-Micro Letters》2018年第2期198-238,共41页Ribu Mathew A.Ravi Sankar 
In the last decade, microelectromechanical systems(MEMS) SU-8 polymeric cantilevers with piezoresistive readout combined with the advances in molecular recognition techniques have found versatile applications,especial...
关键词:SU-8 polymer Surface stress Biological sensor CANTILEVER Chemical sensor PIEZORESISTOR IMMOBILIZATION 
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