云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- PIEZORESISTOR

PIEZORESISTOR: 作品数：4被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 相关作者：王家畴荣伟彬李欣昕孙立宁更多>>; 相关机构：哈尔滨工业大学中国科学院更多>>; 相关期刊：《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》《Nano-Micro Letters》《Microsystems & Nanoengineering》《Journal of Semiconductors》更多>>; 相关基金：长江学者和创新团队发展计划国家高技术研究发展计划国家杰出青年科学基金更多>>

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A Silicon Integrated Micro Positioning xy-Stage for Nano-Manipulation: 《Journal of Semiconductors》2008年第10期1932-1938,共7页王家畴荣伟彬孙立宁李欣昕; 国家杰出青年基金(批准号:50725518);国家高技术研究发展计划(批准号:2007AA04Z315);长江学者和创新团队发展计划资助项目~~; An integrated micro positioning xy-stage with a 2mm × 2mm-area shuttle is fabricated for application in nano- meter-scale operation and nanometric positioning precision. It is mainly composed of a silicon-based xy-st...; 关键词：MEMS integrated micro xy-stage electrostatics comb actuator vertical sidewall surface piezoresistor inplane