NANOIMPRINTING

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Effect of template shape on metal nanoimprinting:a dislocation dynamics study
《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》2010年第10期722-726,共5页Lucia NICOLA 
Project (No VENI 08120) supported by the Dutch National Scientific Foundation NWO and Dutch Technology Foundation STW
Dislocation dynamics simulations are performed to investigate the effect of template shape on the nanoimprinting of metal layers. To this end, metal thin films are imprinted by a rigid template made of an array of equ...
关键词：NANOIMPRINTING Dislocation dynamics Simulations 
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