VASE

作品数：15被引量：18H指数：2
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椭偏技术的原理及其在功能薄膜表征中的应用被引量：9
《压电与声光》1998年第3期209-213,共5页孙顺明 张良莹 姚熹 
随着计算机技术的不断发展，已有一百多年历史的椭偏技术的研究重点已从该技术本身转移到了它在材料分析中的新用途。通过介绍椭偏技术的测量原理，给出了椭偏仪在材料表征中的应用范围和局限。研究表明，结合其他分析工具并建立精细的...
关键词：VASE 椭偏技术 表征 金属氧化物 薄膜 功能薄膜 
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