NON-PLANAR

作品数：27被引量：33H指数：3
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相关领域：理学更多>>
相关作者：欧文巩轲钱鹤李明更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所清华大学更多>>
相关期刊：《Plasma Science and Technology》《Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering》《Acta Mathematica Sinica,English Series》《Chemical Research in Chinese Universities》更多>>
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Soft thermal nanoimprint lithography using a nanocomposite mold被引量：6
《Nano Research》2018年第5期2705-2714,共10页Viraj Bhingardive Liran Menahem Mark Schvartzman 
This work was supported by Adelis Foundation for Renewable Energy （No. 2021611） and Israel Science Foundation （No. 1401/15）. Viraj Bhingardive thanks the Negev-Tsin Scholarship for its support.
Soft nanoimprint lithography has been limited to ultraviolet （UV） curable resists. Here, we introduce a novel approach for soft thermal nanoimprinting. This unprecedented combination of the terms ＂soft＂ and ＂ther...
关键词：soft lithography nanoimprint lithography polydimethylsiloxane（PDMS） non-planar substrates 
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