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NON-PLANAR: 作品数：27被引量：33H指数：3; 导出分析报告; 相关领域：理学更多>>; 相关作者：欧文巩轲钱鹤李明更多>>; 相关机构：中国科学院微电子研究所清华大学更多>>; 相关期刊：《Plasma Science and Technology》《Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering》《Acta Mathematica Sinica,English Series》《Chemical Research in Chinese Universities》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金以色列科学基金中国博士后科学基金更多>>

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中国科学院微电子研究所: 作品数：3466被引量：7823H指数：21; 发文主题：半导体器件衬底沟道半导体刻蚀; 发文领域：电子电信自动化与计算机技术理学电气工程机械工程

清华大学: 作品数：235215被引量：1411854H指数：261; 发文主题：数值模拟存储介质碳纳米管电力系统电子设备; 发文领域：自动化与计算机技术经济管理文化科学建筑科学理学

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