MICRO-ACCELEROMETER

作品数：9被引量：10H指数：2
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A novel capacitive micro-accelerometer with grid strip capacitances and sensing gap alterable capacitances
《Journal of Semiconductors》2009年第3期72-77,共6页董林玺 陈金丹 颜海霞 霍卫红 李永杰 孙玲玲 
supported by the National Natural Science Foundation of China (No. 60506015);the Zhejiang Provincial Natural ScienceFoundation of China (No.Y107105).
The comb capacitances fabricated by deep reactive ion etching （RIE） process have high aspect ratio which is usually smaller than 30 ： 1 for the complicated process factors, and the combs are usually not parallel du...
关键词：capacitive accelerometer inertial sensor high precision deep RIE 
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