MICRO-ACCELEROMETER

作品数：9被引量：10H指数：2
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Numerical Simulation on the Comb Drive Micro-Accelerometer
《Modern Mechanical Engineering》2017年第4期113-126,共14页Xiangyi Zhao 
In this study, we research about comb-drive micro-structure, which is a MEMS device used to measure velocities and accelerations. To ensure the accuracy and visualization of the result, we simulate the dynamics of the...
关键词：Comb-Drive MICRO-STRUCTURE COMSOL MULTIPHYSICS Optimization Electric RESPONSES 
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