NANOPATTERNING

作品数：15被引量：15H指数：2
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Advanced unconventional techniques for sub-100 nm nanopatterning被引量：1
《InfoMat》2022年第8期25-53,共29页Mengmeng Guo Zhiyuan Qu Fanyi Min Zheng Li Yali Qiao Yanlin Song 
Beijing National Laboratory for Molecular Sciences,Grant/Award Numbers:2019BMS20003,BNLMS-CXXM-202005;CAS-VPST Silk Road Science Fund 2022,Grant/Award Number:121111KYSB20210006;K.C.Wong Education Foundation,China Postdoctoral Science Foundation,Grant/Award Number:2020M670466;External Cooperation Program of Chinese Academy of Sciences,Grant/Award Number:GJHZ201948;the National Key R&D Program of China,Grant/Award Numbers:2018YFA0208501,2018YFA0703200;the National Nature Science Foundation of China,Grant/Award Numbers:22002171,22175185,51773206,51803217,51961145102,52003273,52003276,91963212。
Patterned nanostructures with ultrasmall features endow functional devices with unique nanoconfinement and performance enhancements.The increasing demand for miniaturization has stimulated the development of sub-100 n...
关键词：functional devices high resolution NANOCONFINEMENT nanostructure patterning techniques sub-100 nm unconventional lithography 
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