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作品数：68被引量：124H指数：6
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Interlayer expansion of the layered zeolite precursor COK-5 with Sn(acac)_2Cl_2
《Journal of Energy Chemistry》2015年第5期642-645,共4页Chaoqun Bian Qinming Wu Jian Zhang Shuxiang Pan Liang Wang Xiangju Meng Feng-Shou Xiao 
supported by the National Natural Science Foundation of China (21422306 and 21403192);Zhejiang Provincial Natural Science Foundation of China under grant no. LR15B030001;the Fundamental Research Funds for the Central Universities (2015XZZX004-04)
In the interlayer expansion of the layered zeolite precursor COK-5, a Sn, salt, bis（2,4-pentanedionate）- dichlorotin [Sn（acac）2CL2], instead of a silylating agent was used to link the layers at 180 ℃. The obtaine...
关键词：Interlayer expansion COK-5 Isolated tin species Sn（acac）2Cl2 COE-5 
Plasma-enhanced atomic layer deposition of Co using Co(MeCp)_2 precursor被引量：3
《Journal of Energy Chemistry》2013年第3期403-407,共5页Jusang Park Han-Bo-Ram Lee Doyoung Kim Jaehong Yoon Clement Lansalot Julien Gatineau Henri Chevrel Hyungjun Kim 
supported by the Technology Innovation Program Industrial Strategic Technology Development Program(10035430);Development of reliable fine-pitch metallization technologies funded by the Ministry of Knowledge Economy MKE,Korea.The synchrotron radiation XRD analysis was performed at Pohang Light Source beam line 3C2
Cobalt （Co） thermal or plasma enhanced atomic layer deposition （PE-ALD） was investigated using a novel metal organic precursor, Co（MeCp）2, and NH3 or H2 or their plasma as a reactant. The growth characteristics,...
关键词：PE-ALD Th-ALD cobalt metal thin films metal organic precursors 
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