云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- MACROPORE

MACROPORE: 作品数：20被引量：36H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：理学更多>>; 相关期刊：《Science China Chemistry》《Chinese Journal of Chemical Engineering》《Journal of Materials Science & Technology》《Journal of Bioresources and Bioproducts》更多>>; 相关基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>

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Photoelectrochemical etching of uniform macropore array on full 5-inch silicon wafers: 《Journal of Semiconductors》2010年第7期156-160,共5页赵志刚郭金川雷耀虎牛憨笨; Project supported by the Key Program of the National Natural Science Foundation of China(No.60532090).; We analyze the two main factors causing non-uniformity of the etched macropore array first,and then a novel photoelectrochemical etching setup for large area silicon wafers is described.This etching setup refined typi...; 关键词：photoelectrochemical etching macropore array large area NON-UNIFORMITY current density