亚表面

作品数：286被引量：874H指数：14
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碳化硅晶圆的快速高质量复合加工方法被引量：9
《光学学报》2020年第13期141-146,共6页杨超 李福坤 任婷 魏源松 白杨 
国家自然科学基金(61905024)。
为了提升单晶碳化硅(SiC)材料的抛光效率及表面质量,提出了将传统抛光与磁流变抛光(MRF)相结合的新方法,并对一块直径为100 mm的单晶SiC晶圆进行实际加工。首先,采用环抛技术将单晶SiC晶圆表面粗糙度快速加工至0.6 nm左右;然后,通过配...
关键词：光学制造 碳化硅晶圆 磁流变抛光 环抛 表面质量 亚表面损伤 
光学元件亚表面损伤深度的无损荧光检测方法被引量：5
《哈尔滨工业大学学报》2018年第7期17-22,共6页侯晶 王洪祥 王储 王景贺 朱本温 
国防基础科研科学挑战专题(JCKY2016212A506-0503);国家自然科学基金(51475106)
为了实现光学元件亚表面损伤的低成本、快速、准确检测,提出一种光学元件亚表面损伤深度无损荧光检测方法.在研磨和抛光加工过程中添加纳米荧光量子点溶液作为标记物,量子点受到激发光辐照后能够产生荧光现象,然后利用激光共聚焦显微镜...
关键词：光学元件 亚表面损伤 无损检测 图像处理 磁流变抛光 
集群磁流变抛光参数对亚表面损伤深度的影响被引量：4
《光子学报》2018年第1期69-75,共7页肖强 陈刚 
陕西省自然科学基金(No.2014JM7257);陕西省教育厅重点实验室(No.16JS046);陕西省教育厅重点实验室访问学者项目(No.14JS029);陕西省特种加工重点实验室开放基金(No.ST-11006)资助~~
建立了亚表面损伤深度与抛光参数的关系模型,探究集群磁流变抛光后单晶蓝宝石亚表面损伤深度与集群磁流变抛光参数的关系,研究了抛光参数对亚表面损伤深度的影响规律,运用正交实验验证了模型的合理性.实验中使用白光干涉仪作为测量工具,...
关键词：特种加工工艺 损伤 正交实验 蓝宝石 抛光 压力 磨粒 
熔石英光学元件亚表面损伤评价与磁流变抛光抑制方法被引量：5
《激光杂志》2017年第7期13-16,共4页赵子渊 何建国 张云飞 周铭 
科学挑战专题资助(JCKY2016212A506-0101)
针对研磨抛光处理后熔石英元件残余亚表面损伤不易检测和难以消除的特点,本文提出采用磁流变抛光柔性加工方法抑制亚表面损伤。通过采用磁流变抛光技术去除熔石英元件的不同深度表层材料,使其残余的亚表面损伤充分暴露。基于灰度熵值和...
关键词：磁流变抛光 亚表面损伤 熔石英 灰度熵值 功率谱密度 
微晶玻璃亚表面损伤深度测量技术及控制试验研究被引量：1
《航空制造技术》2015年第19期18-21,25,共5页向勇 任杰 白满社 陈勇 陈静 张晋宽 
针对微晶玻璃材料研磨加工引入的亚表面损伤层,综合使用磁流变抛光斑点技术和HF酸差动化学蚀刻速率法测量亚表面裂纹层深度和亚表面残余应力层厚度,针对微晶玻璃材料抛光加工引入的亚表面损伤,采用蚀刻台阶高度变化率法对其进行了准确...
关键词：亚表面损伤 残余应力 研磨 抛光 磁流变抛光 
固结磨料研磨K9玻璃亚表面损伤层深度测量方法研究被引量：3
《金刚石与磨料磨具工程》2014年第5期6-12,共7页戴子华 朱永伟 李军 高平 左敦稳 
国家自然科学基金(51175260);中央高校基本科研业务专项资金(NP2012506)
光学工件研磨后亚表面损伤层深度是确定其抛光加工余量的重要依据。采用三种典型的光学材料亚表面损伤层深度测量方法(BOE分步腐蚀法、BOE差动腐蚀法、磁流变抛光斑点法),测量比较了固结磨料研抛垫(FAP)研磨后K9玻璃的亚表面损伤层厚度...
关键词：亚表面损伤 研磨 BOE分步腐蚀法 BOE差动腐蚀法 磁流变斑点法 
微晶玻璃研磨加工亚表面损伤深度预测方法及测量被引量：10
《中国激光》2014年第7期208-215,共8页向勇 任杰 白满社 陈静 张晋宽 
国防基础科研项目(A0520110054)
将研磨加工中磨粒与工件表面作用过程近似为受法向载荷和切向载荷共同作用下移动的尖锐压头对表面的作用过程,基于压痕断裂力学理论,分析了移动磨粒作用下材料的应力状态、中位裂纹的成核位置和扩展方向。综合考虑弹性应力场、残余应力...
关键词：光学制造 研磨 亚表面损伤 磁流变抛光 
双抛光头磁流变抛光技术与装备研究进展
《中国工程物理研究院科技年报》2013年第1期57-59,共3页何建国 
磁流变抛光技术作为一种新型的光学制造技术，具有高精度、高效率、高表面质量且近无亚表面损伤等一系列优点，被认为是解决当前光学制造难题最有效的加工手段。
关键词：磁流变抛光技术 抛光头 光学制造技术 装备 亚表面损伤 表面质量 高精度 
游离磨料和固结磨料研磨后亚表面裂纹层深度研究被引量：13
《中国机械工程》2013年第7期895-898,905,共5页李标 李军 高平 朱永伟 罗海军 左敦稳 
国家自然科学基金资助项目(50905086);江苏省自然科学基金资助项目(BK2010512);南京航空航天大学研究生创新基地(实验室)开放基金资助项目(kfjj20110220);南京航空航天大学大学生创新训练计划资助项目
不同研磨方式加工K9玻璃产生不同的亚表面裂纹层深度,亚表面裂纹层深度的测量对确定材料下一步的加工去除量和提高加工效率具有重要意义。利用磁流变抛光斑点法测量游离磨料和固结磨料两种方式研磨后的亚表面裂纹层深度,每种研磨方式选...
关键词：K9玻璃 游离磨料研磨 固结磨料研磨 磁流变抛光斑点法 亚表面裂纹层深度 
光学材料磨削的亚表面损伤预测被引量：13
《光学精密工程》2013年第3期680-686,共7页吕东喜 王洪祥 黄燕华 
国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金资助项目(No.U1230110)
基于压痕断裂力学理论,建立了工件表面粗糙度与亚表层损伤深度的理论关系模型,用于预测磨削加工脆性光学材料引起的亚表层损伤深度。利用磁流变角度抛光技术检测了不同磨削加工工艺条件下亚表层的损伤深度,验证了理论模型的正确性。分...
关键词：脆性材料 磨削 压痕 磁流变抛光 表面粗糙度 亚表层损伤 
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