真空电弧离子镀

作品数：24被引量：48H指数：4
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相关领域：金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者：严一心李海庆杭凌侠蔡长龙陆峰更多>>
相关机构：西安工业学院东北师范大学中国科学院航天材料及工艺研究所更多>>
相关期刊：《功能材料》《金属热处理》《新技术新工艺》《电工电能新技术》更多>>
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低能氮离子束辅助真空电弧沉积Zr-Cu-N薄膜的研究被引量：1
《材料导报》2006年第11期141-143,共3页吴健 胡社军 曾鹏 谢光荣 周泽 
国家自然科学基金资助项目(50271019);广东省教育厅自然科学研究项目(项目编号:020075)
利用等离子体辅助真空电弧沉积技术,在高速钢和单晶硅基体上制备Zr-Cu-N复合薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和超微显微硬度计研究了低能氮离子束流对Zr-Cu-N涂层结构、表面形貌和硬度的影响。结果表明:用低能氮离子束辅助...
关键词：离子束 真空电弧离子镀 Zr-Cu-N薄膜 
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