真空弧放电

作品数：18被引量：22H指数：2
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高能量离子束诊断质谱仪的研制及性能表征
《质谱学报》2020年第2期153-159,I0006,共8页苏海波 谭国斌 黄正旭 洪义 车欣欣 王攀攀 高伟 周振 
金属增材制造在线监测系统(2017YFB1103903)资助。
本研究开发了一台应用于高能量离子束诊断的直线式飞行时间质谱仪,实现了其与高能真空弧放电离子源的联用。该仪器加速电压30 kV,飞行腔有效飞行距离1.5 m,通过短脉冲离子门精确截取,ICCD高速相机优化聚焦,仪器分辨率优于90 FWHM,对放...
关键词：直线式飞行时间质谱仪 真空弧放电离子源 等离子体 高能离子束诊断 
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