真空计量学

作品数：14被引量：57H指数：6
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真空计量的新进展被引量：3
《上海计量测试》2003年第5期4-10,共7页李得天 
真空计量学已发展成为计量学的一个新的独立分支,其研究内容已从传统的全压力测量与校准扩展到分压力测量与校准、气体微流量(漏率)测量与校准。本文描述了这三个方面的最新进展,从中可看出真空计量学的现状与发展趋势。
关键词：真空计量学 全压力测量 分压力测量 气体微流量测量 全压力校准 发展趋势 
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