真空间隙

作品数：34被引量：86H指数：6
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基于FIB-SEM双束系统的纳尺度真空间隙电学特性原位实验装置
《电子显微学报》2016年第6期526-532,共7页孟国栋 董承业 门闯 成永红 
国家自然科学基金资助项目(No.51607138);强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室专项经费(No.SKLIPR.1512)
纳米尺度真空电气击穿与绝缘特性研究是高电压与绝缘技术领域的前沿课题。一方面,随着微纳尺度加工技术的不断发展,电气部件和电子器件的特征物理尺寸已经逐步降低到微米、纳米甚至是分子原子尺度,并且在军事和民用领域得到越来越广泛...
关键词：FIB-SEM双束系统 纳尺度真空间隙 电气击穿 原位研究 
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