直流辉光

作品数：97被引量：206H指数：8
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直流辉光放电质谱法测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子被引量：14
《分析化学》2012年第1期66-71,共6页刘洁 钱荣 斯琴毕力格 卓尚军 何品刚 
中国科学院“优秀博士学位论文、院长奖获得者科研启动专项资金”(No.O87YQ1110G);中国科学院上海硅酸盐研究所科技创新项目(No.O97ZC1110G);国家自然科学基金(No.21102157);科技部创新方法工作专项(No.2009IM031100)资助
采用直流辉光放电质谱(dc-GD-MS)测定多晶硅中关键杂质元素的相对灵敏度因子(RSF)。标样制作过程中主要是在连续通入氩气条件下将固定量的非标准多晶硅样品熔化,向硅熔体中均匀掺入浓度范围为1～30μg/g的关键杂质元素(如B和P),采用快...
关键词：直流辉光放电质谱 多晶硅 杂质元素 相对灵敏度因子 
直流辉光放电光谱法测定硅钢中8种元素被引量：1
《分析化学》2009年第A01期88-88,共1页邓军华 
硅钢是一种电工用钢，硅钢的化学成分的要求也愈来愈高。辉光放电光谱法在分析领域的应用正得到快速的发展。本文利用直流辉光光谱测定硅钢中8种元素的化学成分，取得良好效果。
关键词：辉光放电光谱法 光谱测定 硅钢 元素 直流 化学成分 
新型大气压直流辉光放电电离源及其在离子迁移谱中的应用(Ⅰ)
《分析化学》2008年第8期1157-1157,共1页
关键词：离子迁移谱仪 直流辉光放电 应用 大气压 mobility 电离 实时在线监测 大气污染物 
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