直线度测量

作品数:106被引量:296H指数:10
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高精度直线度基准装置
《仪器仪表学报》1995年第S1期370-373,共4页张善钟 浦昭邦 武晋燮 赵辉 
本文介绍的以激光波长为测量基准,以单尺反转误差分离为基本测量原理的高精度直线度基准装置,具有结构简单,工作稳定,测量精度高,且测量误差不随被测尺长的加长而增大的特点。该装置的主要技术指标为:分辨力4nm,示值变动性≤...
关键词:直线度测量 高精度 直线度误差 单尺反转 测量不确定度 测量原理 测量基准 检定不确定度 运动误差 测量结果 
双频激光三尺组合法直线度测量系统被引量:5
《仪器仪表学报》1994年第2期133-137,共5页张善钟 赵辉 浦昭邦 武晋燮 
本文提出一种双频激光三尺组合法直线度测量系统。理论分析及实验结果都说明本系统可望获得优于0.1μm/m的精度,是提高现有直线度测量精度的一个较实用的方法。
关键词:激光三尺组合 直线度测量 测量系统 
无焦系统在“空间直线度”测量中的应用被引量:3
《仪器仪表学报》1980年第1期73-82,共10页张以谟 徐桂英 
在机械制造业中,常有一系列孔的中心组成的直线,称之为“空间直线”。多用内调焦式测微望远镜对其进行检测。但是对于远、近测试点不能有相同的成象质量和测量精度。本文试图解决这种“空间直线度”测量中对远、近测试点具有相近的测量...
关键词:直线度 空间直线 内调焦 调焦误差 测试点 双象棱镜 等精度测量 孔径角 入射光瞳 出射光瞳 
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