试验束

作品数：22被引量：26H指数：4
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干涉仪测量线性位移
《激光杂志》1988年第4期255-255,共1页张兵 
一台新型线性测量干涉仪的光学元件排列与其它一般干涉仪不同。这种新型装置没有Abbe误差，并且精度比以前的装置提高总计十倍。Abbe误差是通过使试验束跨在由探针所占据的测量轴上消除的。再者，干涉仪的静空气路程与待测距离成正比。
关键词：线性测量 干涉仪 线性位移 新型装置 光学元件 试验束 误差 轴 
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