随机回报网

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基于SRN的集束型半导体装备批加工模型
《半导体技术》2014年第4期309-314,共6页郑秀红 
国家自然科学基金资助项目(61104093)
为了分析集束型半导体装备的性能,研究了系统批加工过程的随机回报网模型,模型不仅可以描述装备的批加工过程和机械手的操作序列,还可以用来分析装备的性能。该模型适用于装备的并行晶圆流和串行晶圆流、串-并混合型模式。在模型中,用...
关键词：随机回报网(SRN) 模型 集束型装备 半导体 批加工 
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