梯度掺杂

作品数:53被引量:106H指数:5
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钇梯度掺杂Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜的sol-gel法制备及介电性能被引量:1
《稀有金属材料与工程》2013年第S1期87-89,共3页李嶷云 廖家轩 张高俊 王滨 徐从玉 张宝 
国家自然科学基金(51172034);中央高校基本科研业务费专项资金(ZYGX2009X018);电子科技大学中青年学术带头人培养基金(Y02018023601053)
用改进的溶胶-凝胶法(sol-gel)在Pt/Ti/SiO2/Si(S)上制备了各层Y掺杂浓度分别为0.5%/0.6%/0.7%/0.8%/0.9%/1%的上梯度掺杂和1%/0.9%/0.8%/0.7%/0.6%/0.5%下梯度掺杂的Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜。X射线衍射(XRD)表明,各薄膜主要沿(110)晶面生长...
关键词:(Ba0.6Sr0.4)0.8TiO3薄膜 钇掺杂 薄膜厚度 介电性能 
Y掺杂(Ba_(0.6)Sr_(0.4))_(0.8)TiO_3薄膜的结构及介电性能
《稀有金属材料与工程》2013年第S1期100-102,共3页张高俊 廖家轩 李嶷云 徐从玉 王滨 张宝 
国家自然科学基金(51172034);中央高校基本科研业务费专项资金(ZYGX2009X018);电子科技大学中青年学术带头人培养基金(Y02018023601053)
通过钇(Y)掺杂、适当增加钛(Ti)含量和调节薄膜厚度等优化设计,用改善的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了光滑致密的Y掺杂多层钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4)0.8TiO3,BST)薄膜,研究了该薄膜的结构及介电性能。X射线衍射(XRD)表明,该薄膜为钙钛矿结构,...
关键词:钇梯度掺杂 钛酸锶钡薄膜 溶胶-凝胶法 介电性能 
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