梯度掺杂

作品数:53被引量:106H指数:5
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相关作者:常本康徐源李飙廖家轩杜晓晴更多>>
相关机构:南京理工大学电子科技大学格林美股份有限公司中国科学院更多>>
相关期刊:《半导体技术》《长春工程学院学报(自然科学版)》《中国工程物理研究院科技年报》《真空科学与技术学报》更多>>
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利用梯度掺杂获得高量子效率的GaAs光电阴极被引量:13
《光学学报》2005年第10期1411-1414,共4页杜晓晴 常本康 邹继军 李敏 
十五国防科技预研重点项目(404050501D)资助课题
获得高量子效率且稳定性良好的阴极一直是近年来发展GaAs光电阴极的重要方向。对晶面为(100),掺杂Be,厚度为1μm分子束外延生长的反射式GaAs发射层,设计了一种从体内到表面掺杂浓度由高到低分布的新型梯度掺杂结构。掺杂浓度的范围从1×...
关键词:光电子学 GAAS光电阴极 量子效率 梯度掺杂 激活 光谱响应 积分灵敏度 
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