提拉法晶体生长

作品数：22被引量：71H指数：5
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稳定提拉法晶体生长界面的装置和方法研究被引量：1
《压电与声光》2020年第5期718-720,共3页周益民 何晔 岑伟 陈川贵 邓江涛 
为了解决传统提拉单晶体生长界面不稳定的难题,该文在传统全自动提拉单晶炉等径控制理论的基础上,通过原料补充装置,不断添加与晶体生长量相等的晶体原料至坩埚内,以稳定晶体生长液面的高度不变;再通过光学放大和电荷耦合器件(CCD)成像...
关键词：提拉(CZ)法 生长界面 单晶炉 晶体生长 自动控制 
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