电感矩阵

作品数:35被引量:187H指数:6
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RF-MEMS电感三维衬底耦合的扩展PEEC法分析
《电子学报》2002年第9期1308-1312,共5页龙海波 张跃江 冯正和 
973国家重点基础研究基金项目(No. G1999033105);国家自然科学基金项目(No.6017015)
本文扩展了部分元等效电路(PEEC)法来分析RF-MEMS电感的三维结构衬底耦合.将电边界条件引入PEEC法中,从而得到包含了衬底耦合的电容矩阵;通过电荷源等效使得在部分元的计算中能应用均匀介质空间的格林函数;应用合适的网格单元尺寸而...
关键词:RF-MEMS电感 三维衬底耦合 PEEC 射频微机电系统 部分元等效电路法 电感矩阵 电容矩阵 
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