射频微机电系统

作品数：50被引量：81H指数：5
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基于lift-off工艺的RF MEMS开关触点平坦化方法
《微纳电子技术》2025年第2期116-121,共6页杨彪 诸葛明华 吴国才 容炎森 
国家自然科学基金青年基金(62105082);广东省基础与应用研究基金(2023A1515011257);深圳市科技计划资助项目(20231129092735001)。
采用表面微加工工艺制备射频微机电系统(RF MEMS)开关,开关触点的平坦化是一项关键工艺,直接影响RF MEMS开关的机械和电学性能。设计静电驱动接触式的RF MEMS开关结构,然后通过在触点上进行套刻制备光刻胶岛、蒸镀制备铝牺牲层,利用lift...
关键词：射频微机电系统(RF MEMS)开关 开关触点 牺牲层 平坦化 lift-off工艺 
W波段直板型电容式MEMS开关设计被引量：1
《传感器与微系统》2022年第6期74-77,共4页曹钎龙 吴倩楠 韩路路 王宇 李孟委 
装备发展部新品项目(2018NW0026,2019NW0010);中北大学青年学术带头人项目(QX201905)。
针对卫星通信、6G通信、物联网技术等射频前端系统对电子元器件高频工作性能的需求,设计了一种工作在W波段的直板型电容式射频(RF)单刀双掷开关。通过优化介电层材料和开关电极之间的空气间隙,降低了插入损耗、提高了隔离度等射频性能...
关键词：射频微机电系统 W波段 单刀双掷 插入损耗 隔离度 卫星通信 
“星”型射频MEMS四刀四掷开关的设计被引量：5
《传感器与微系统》2021年第7期74-77,共4页张世义 王姗姗 吴倩楠 余建刚 王宇 李孟委 
军工双百工艺攻关(JCKY2018408B006);装备发展部新品项目(2018NW0026)。
为了解决传统开关可控通道较少、尺寸较大、插入损耗较高等问题,以射频微机电系统(MEMS)单刀单掷开关为基础,设计了“星”型的射频MEMS四刀四掷开关,可控制多通道信号导通与断开。采用HFSS仿真软件,对设计的器件的插入损耗、隔离度及驻...
关键词：射频微机电系统 四刀四掷开关 低插损 可调 多通道 
射频微机电系统实现“理想开关”
《科技纵览》2020年第8期12-13,共2页Glenn Zorpette 
20年前,射频电路的专业工程师设想了一种“理想开关”。这种开关在“接通”时的电阻非常低,在“断开”时的电阻非常高,它体积小巧、速度快,便于制造,能够切换相当大的电流,可以耐受数十亿次开关转换,开关只需很少的电力。它还能毫无失...
关键词：射频电路 理想开关 千兆赫 射频微机电系统 专业工程师 线性度 开关转换 失真 
电容式射频微机电系统开关的纳秒脉冲击穿及损伤特性被引量：4
《现代应用物理》2019年第1期32-37,共6页王科镜 李南 陈先龙 应琪 成永红 孟国栋 
国家自然科学基金资助项目(51607138);强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室开放基金资助项目(SKLIPR.1512)
设计并制备了典型电容式射频微机电系统(RF MEMS)开关结构,利用纳秒脉冲微间隙击穿的电气测试和光学诊断系统,对上、下电极间隙宽度在45~100μm的电容式RF MEMS开关的击穿及损伤特性进行了研究。结果表明:上、下电极间隙宽度为45~100μm...
关键词：电容式RF MEMS开关结构 纳秒脉冲 微米间隙 击穿 损伤 
RF MEMS开关的静电斥力驱动研究被引量：5
《传感器与微系统》2018年第7期15-17,21,共4页李梁 赵清华 于洋 
国家自然科学青年基金资助项目(51505324);山西省国际科技合作计划项目(2013-036)
针对射频微机电系统(RF MEMS)开关工作时因介质充电而发生"粘连"失效的问题,提出了利用静电斥力驱动替代传统的静电引力驱动方式,使RF MEMS开关在工作时介质层不存在电势差,从根源上消除介质充电。通过COMSOL仿真软件,分析了静电斥力的...
关键词：射频微机电系统 静电斥力 介质充电 
电容式射频微机电系统开关损耗机制(英文)
《强激光与粒子束》2015年第2期170-175,共6页李沐华 赵嘉昊 尤政 
supported by National Natural Science Foundation of China(51205223)
插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一。电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究。电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括四部分:信号线的导体损耗、衬底损耗、辐射损耗以及MEMS桥...
关键词：损耗机制 射频微机电系统 电容式开关 共面波导 
氮化铝面内伸缩模态谐振器的研究现状被引量：2
《微纳电子技术》2014年第6期374-380,393,共8页杨健 韩国威 司朝伟 赵永梅 宁瑾 
国家自然科学基金资助项目(61274001;61234007);北京市科技创新基地培育与发展工程专项(Z131103002813070)
综述了氮化铝面内伸缩模态的射频MEMS谐振器。氮化铝面内伸缩模态谐振器(contour-mode resonator,CMR)利用了氮化铝薄膜的压电效应,由器件的机械谐振再通过机电转化实现谐振功能,基本结构为电极层-氮化铝层-电极层。当前研究的两种典型...
关键词：射频微机电系统(RF-MEMS) 氮化铝(AlN) 面内伸缩模态谐振器 谐振频率 品质因子 温度稳定性 动态电阻 
ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作被引量：3
《半导体技术》2013年第6期443-447,478,共6页陈颖慧 郑英彬 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013);中国工程物理研究超精密加工技术重点实验室课题(2012CJMZZ00003;2012CJMZZ00006)
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/...
关键词：射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(SAW) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT) 
RFMEMS技术对小型化雷达的作用被引量：2
《现代雷达》2012年第12期68-73,共6页魏恭 邓成 鲍景富 黄伟 
国家部委基金(9140A23060409DZ02);中国工程物理研究院科学技术发展基金(2008A0403016);国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金(11176006)资助项目
该文采用至上而下的方式,介绍了应用RF MEMS技术的雷达系统,将雷达子系统与RF MEMS技术联系起来,具体分析了应用于雷达的RF MEMS开关、移相器、滤波器和谐振器。同时,文中以开关和移相器为例,讨论了如何提高RFMEMS雷达的性能:修改空气...
关键词：射频微机电系统 雷达 相控阵 收发组件 开关 
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