郑英彬

作品数：24被引量：68H指数：5
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供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文主题：MEMS微电子机械系统太赫兹键合加速度计更多>>
发文领域：电子电信机械工程电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《红外与毫米波学报》《半导体光电》《传感技术学报》《半导体技术》更多>>
所获基金：中国工程物理研究院科技发展基金中国工程物理研究院科学技术发展基金国家自然科学基金国家部委资助项目更多>>
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电化学沉积工艺的优化被引量：2
《微纳电子技术》2021年第1期80-86,共7页丰伟 王颉 郑英彬 杨晴 唐彬 支钞 高彩云 孙强 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室资助项目(ZZ15001)。
电化学沉积由于可以加工基于非硅材料、高深宽比和免装配的复杂三维装置而极具潜力和优势,但是也存在加工周期长和成品率低的缺点。针对电化学沉积的缺点对加工工艺进行优化,包括工艺流程、去胶、清洗、平坦化和铜刻蚀,并通过加工一个5...
关键词：电化学沉积 多层微齿轮传动 去胶 清洗 平坦化 刻蚀 
声表面波滤波器理论研究进展
《太赫兹科学与电子信息学报》2016年第3期467-473,共7页陈颖慧 张慧 郑英彬 
为使声表面波(SAW)滤波器技术向更高的频段发展,对SAW滤波器的基础理论进行了分析:展示了压电材料压电效应(逆压电效应)的产生机理,并通过例子对比说明压电材料的晶体结构属性。介绍了重要的物理量机电耦合系数以及SAW传播的物理机理;...
关键词：声表面波 RAYLEIGH波 压电效应 压电薄膜 
金-硅共晶键合技术及其应用被引量：7
《纳米技术与精密工程》2015年第1期69-73,共5页陈颖慧 施志贵 郑英彬 王旭光 张慧 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室课题(CJMZZ1202;CMZZ1206)
采用金属过渡层来实现硅-硅低温键合,首先介绍了选择钛金作为金属过渡层的原因和金硅共晶键合的基本原理,然后探索了不同键合面积和不同金层厚度对金硅共晶键合质量的影响规律,开展了图形化的硅晶圆和硅盖板之间的低温共晶键合实验研究...
关键词：圆片级封装 键合 共晶 低温 键合质量检测 
不同键合温度对低温硅-硅共晶键合的影响被引量：8
《微纳电子技术》2013年第9期576-580,共5页陈颖慧 施志贵 郑英彬 隆艳 王旭光 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室课题资助项目(2012CJMZZ00003;2012CJMZZ00006)
选取Ti/Au作为金属过渡层来实现低温硅-硅共晶键合。首先介绍了共晶键合的基本原理,分析了选择金-硅共晶键合的原因,设计了单面溅金、双面溅金以及不同温度下的硅-硅共晶键合实验。采用超声波显微镜对键合样品内部空洞缺陷进行了测试,...
关键词：键合 共晶 低温 超声波显微镜 键合强度 键合质量检测 
ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作被引量：3
《半导体技术》2013年第6期443-447,478,共6页陈颖慧 郑英彬 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2010A0302013);中国工程物理研究超精密加工技术重点实验室课题(2012CJMZZ00003;2012CJMZZ00006)
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/...
关键词：射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(SAW) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT) 
140GHz MEMS矩形波导滤波器被引量：7
《红外与毫米波学报》2013年第2期165-169,共5页赵兴海 单光存 郑英彬 杜亦佳 陈颖慧 鲍景富 苏伟 
中国工程物理研究院科学技术发展基金重点项目(2008A0403016);国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目(11176006)~~
设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片厚度对滤波器主要性能的影响.采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构.通...
关键词：波导滤波器 太赫兹 DRIE 
太赫兹MEMS滤波器性能影响因素被引量：7
《太赫兹科学与电子信息学报》2013年第2期319-322,共4页崔博华 王成 郑英彬 
在太赫兹微电子机械系统(MEMS)滤波器的制作中,每一步工艺造成的误差都会对滤波器的性能造成影响,使滤波器达不到设计要求。为能够制作出满足指标的滤波器,对影响滤波器性能的尺寸、参数进行分析,且对这些参数进行仿真找到影响的规律;...
关键词：滤波器 太赫兹 微电子机械系统 共晶键合 
金刚石SAW滤波器的设计和制作被引量：4
《微纳电子技术》2012年第10期662-666,692,共6页陈颖慧 高杨 郑英彬 赵兴海 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题(2008A0403016;2010A0302013)
通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金...
关键词：射频微机电(RF MEMS) SAW滤波器 金刚石 ZNO薄膜 叉指换能器(IDT) 
RF MEMS电容式开关结构层释放技术被引量：4
《传感技术学报》2012年第3期322-325,共4页赵兴海 李玉萍 郑英彬 高杨 贾晓慧 
中国工程物理研究院科学技术发展重点基金项目(2008A0403016)
研究了RF MEMS开关的制造工艺流程和聚酰亚胺牺牲层的去除工艺。在开关的设计和加工中采用在信号线两侧的地线上生长一层绝缘介质层,直流偏置线生成在绝缘介质层之上,与桥的锚点相连接,实现了交直流隔离。讨论了干法刻蚀和湿法刻蚀牺牲...
关键词：RF MEMS 电容式开关 聚酰亚胺 释放 
太赫兹微加工波导滤波器被引量：4
《电子与信息学报》2012年第3期728-732,共5页杜亦佳 鲍景富 赵兴海 郑英彬 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金(11176006);国家部委基金(9140A23070311DZ0210)资助课题
该文提出应用微加工(Micromachining)技术设计制作太赫兹6阶并联电感耦合波导带通滤波器的方法。立足于现有工艺条件,通过分析加工因素对滤波器电磁性能的影响,将工艺和设计参数相互折中达到优化设计的目的,避免因工艺原因造成的器件性...
关键词：微加工技术 太赫兹器件 波导滤波器 
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