杨晴

作品数：4被引量：26H指数：2
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供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文主题：平坦化力矩线圈绕组凸极低频性能更多>>
发文领域：兵器科学与技术机械工程电气工程电子电信更多>>
发文期刊：《探测与控制学报》《微纳电子技术》更多>>
所获基金：国防科技技术预先研究基金更多>>
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电化学沉积工艺的优化被引量：2
《微纳电子技术》2021年第1期80-86,共7页丰伟 王颉 郑英彬 杨晴 唐彬 支钞 高彩云 孙强 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室资助项目(ZZ15001)。
电化学沉积由于可以加工基于非硅材料、高深宽比和免装配的复杂三维装置而极具潜力和优势,但是也存在加工周期长和成品率低的缺点。针对电化学沉积的缺点对加工工艺进行优化,包括工艺流程、去胶、清洗、平坦化和铜刻蚀,并通过加工一个5...
关键词：电化学沉积 多层微齿轮传动 去胶 清洗 平坦化 刻蚀 
增强引爆安全系统的原理设计与硬件实现被引量：1
《探测与控制学报》2006年第4期1-4,共4页杨晴 屈新芬 罗雪梅 路荣先 
中国工程物理研究院电子工程研究所所创新基金资助(S20021401)
在异常环境下,武器系统不能被外界异常能量误引爆、不能被蓄意解保、不能因疏忽大意操作而解保,以免造成灾难性的后果。增强引爆安全技术在常规引爆安全技术的基础上,进一步提高武器系统在极端恶劣条件下的引爆安全。典型的增强引爆安...
关键词：异常环境 增强引爆安全 微机电系统 
影响弹丸侵彻性能的因素分析及引信方案探讨被引量：18
《信息与电子工程》2003年第3期51-55,共5页屈新芬 商顺昌 杨晴 
国防科技预研基金项目(421010401)
从硬目标灵巧引信方案设计的角度出发,提出并分析了影响高G值加速度计所敏感的加速度值的几个关键因素:目标介质、着角、着速、加速度传感器安装位置、运载平台等对弹体倾彻性能的影响;在分析的基础上,对硬目标灵巧引信进行了初步的方...
关键词：硬目标灵巧引信 侵彻加速度 运载平台 弹丸侵彻性能 加速度传感器 高G值加速度计 
侵彻武器用MEMS大G值加速度计被引量：5
《电子技术参考》2002年第2期27-31,共5页屈新芬 杨晴 等 
侵彻武器用大G值加速度计，不仅需要有较宽的加速度测量范围，还有较强的抗冲击能力。介绍利用MEMS技术研制出的可满足侵彻武器应用需求的集成大G值加速度计，通过分析工作原理、机械结构、信号处理线路的设计，针对实验结果提出了在实...
关键词：MEMS 大G值加速度计 侵彻武器 微机电系统 电容式传感器 
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