侵彻武器用MEMS大G值加速度计  

作　　者：屈新芬[1] 杨晴[1] 等 

机构地区：[1]中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621900

出　　处：《电子技术参考》2002年第2期27-31,共5页

摘　　要：侵彻武器用大G值加速度计，不仅需要有较宽的加速度测量范围，还有较强的抗冲击能力。介绍利用MEMS技术研制出的可满足侵彻武器应用需求的集成大G值加速度计，通过分析工作原理、机械结构、信号处理线路的设计，针对实验结果提出了在实际工程应用中还需进一步解决的问题。

关 键 词：MEMS 大G值加速度计 侵彻武器 微机电系统 电容式传感器 

分 类 号：TJ99[兵器科学与技术—武器系统与运用工程] TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]